SJT 11396-2009 氮化镓基发光二极管用蓝宝石衬底片
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ID： |
7BF67FB115994DB780D90A2E90685686 |
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文件大小(MB)： |
4.11 |
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页数： |
15 |
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文件格式： |
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日期： |
2024-7-28 |
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ICS 29.045,H83,备案号:,中华人民共和国电子行业标准,SJ/T 11396—2009,氮化锈基发光二极管蓝宝石衬底片,The sapph i re substrates for nitride based Ii ght-emi tt ing d i ode,2009-11-17 发布2010-01-01 实施,中华人民共和国工业和信息化部发布,SJ/T 11396—2009,本标准的附录A和附录B为规范性附录,附录C、附录D、附录E和附录F为资料性附录.,本标准由工业和信息化部电子工业标准化研究所归ロ,本标准由半导休照明技术标准工作组组织起草,本标准起草単位:深圳市淼浩高藝タ掾,本标准主要起草人:李明远ゾ悔、口,SJ/T 11396—2009,氮化锈基发光二极管蓝宝石衬底片,1范围工,本标准规定了外延氮化緑的高纯蓝宝石単晶抛光衬底片的技术要求、测试方法、检验规则、标志、,包装运输和贮存等内容,.本标准适用于制备半导体发光二极管,片”；）,2规范性引用文件,ド列文件中的条,单（不包括勘误的内:,可使用这些文件的,GB/T,GB/T,G8/T,GB/T,划,1031—,1551,1555,2828.,GB/T 6618,- ：GB/T,GB/T,GB/T,GB/T,GB/T,iffi宝石单晶抛光衬底片《以下简称“衬底一,6619,6620,6621,6624,14264—19,均不适用于,キ化学择f 验方法,和总,弓陶文件,其随后的.修改,议的各方研究是否,非,质量目测,.料术,粗,晶体,晶即,计数,河以用而成为本标准的条款。同,标准.然而,鼓励报据,変化测试方験,テ養面平整度潟试方法,件,其最新A,分:按接收」,SJ 20744—1999,3术语、定义和符号,GB/T 14264—1993确立的术语,4要求,;椅粉抽样计.,4.1 化学组成为髙纯的。メIG,总杂质含量应小于1 X 10ー、,4.2 结晶竞整性要求在所有直径范围内都是单晶,位错应小于408个每平方厘米,双晶摇摆曲线的半,峰值宽（FWHM）应小チ1.」,4 . 3制备衬底片所使用的蓝宝石単晶的生长方法按合同双方的规定,4 4表面取向而聲考面取向应符合表I的规定.,SJ/T 11396—2009,衰1衰面取向和参考面取向,表面取向,C面,(0001) ±0*1,R面,（M02） 土。.ド:,.一二A 面---：,（1120）±o. r,“面.;；；,￠1010） 土。.-,参考面取向,A面,(1120) ±0.5,或M面,(1010 ) ±0. 5°,C轴在（11ラ〇）面上的.,投影逆时针旋转,45丒 ±0.5”,（见附录A）,.一:c面一,(0001) ±0:5",；—:或R,面」ミエ',(1102) 土。; 5,一;二彩:C面,(0001) ±0.5°,4: 5参考面尺寸应符合表2,表2参考面尺寸单位为毫米,衬底直径5a8 76.2 100,参考面长度1577 21-23 31,5.33. 5,4.6 ;外形.尺寸及偏差应符合表3要求,表3外形尺寸及偏差单位为臺米一,直径50.80±0, 1 76. 20 ±0.25 100.00± 1.00,エ中心点恳度二:,0. 33Q±0.025,或。.430 ±0.025,〇. 330 ±0.025,或 0.430 ± 〇, 025,0.525 ±0.025,碑曲度近 0.01 W0.01 这 0. 04,二:.题西度这 0.01 W0.0I <0.04,总厚度变化近 0.01 <0.01 W0. 05,4.7 表面平整度规格应符合表4要求,- 表4裹面平整度等级,」 .:: '?■■■■■■ ?一 :，. 等级平整度,ロ m （最大值）,シ,丒二 ;二I 25, . .. ”;n 14,. ■■ . ■ m 10,?. .」.一 丒 ; w 8,??.?ニ」V 6,4. 8表面粗糙度在所有直径范圉内应小于0. 3,4； 9表面缺陷的燧大允许值应符合表5,run 0,2,SJ/T 11396—2009,表5表面缺陷的最大允许值,片直径,见附,的量具渕量,称杂质含,:表面取向,平整度按GB/T,662rs耶,表面和背面粗糙度按趨,检验方法,表面和背面缺陷按GB/T 662,结晶完整性参照GB/T 1554—1995,4.10背面粗糙度在旳,4J1背面不允许有ズ,4J2晶体完整性的标,4. 14表面质量X綱,4, 15蓝宝石曾静历齟,4.16特殊技糠通［,几何尺寸用ヤf,弯曲度按GB%,厚度和总厚度う,翘曲度按GB/T,内均为0. 4 u m-L 0 u % ヽ,崩边的限度同表面,背面划伤长度.,. ■项目最大允許值检驶方法,.划也无本规范5.9,光照度之ヨ600 lx,..崩坡,:,:二弦长.（大）.小于1的以上,无,一二 弦长为0. 38 . IH3.1 mm的3个,.三 弦长为在38面以下的不计,本规范5. 9, 50倍显做镜,回城无本现范5. 9,光照度:>600 lx,桔皮无本规箱5.9. 2嘙倍显锁帳:,裂纹、裂痕,雾,___________________ 无_一 一.,TXTf?<\,本施范ス9.光照度:?-tj00 lx,、、ぎ挑范5. 9,光照度「殳前。丘,边緣凸起,沾污、指纹,ガ7^范れ9,配倍显做镜ー,+セな磁49，光照壊:：5=600 lx,5,5,5,5,5,5,5,5,3,4,5,6,7,8,9,10,6检验规则,6. 1检验分桀」 二,本标淮规定了交收检验的项冃和检验要求,6. 2检験批;：,检验批由同一牌号、来自相同规格单晶锭……
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